压阻压力传感器的特点

有关压阻压力传感器的小知识，与别的压力传感器相比，压阻式的压力传感器有哪些特点，与压电式压力传感器相比，这种传感器有哪些不同之处，一起来看下。

压阻压力传感器

1、什么是压阻式压力传感器

压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成的，这种传感器采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感器腔内。

当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成正比的变化，再由桥式电路获相应的电压输出信号。

2、压阻式压力传感器的特点

压阻压力传感器基于压阻效应，压阻效应用来描述材料在受到机械式应力下产生的电阻变化，与压电效应不同，压阻效应只产生阻抗变化，而不产生电荷。

大多数金属材料与半导体材料都具有压阻效应，半导体材料中的压阻效远大于金属。

硅是集成电路的主要组成元素，以硅制作而成的压阻性元件的应用较多，电阻变化不单来自与应力有关的几何形变，也来自材料本身与应力相关的电阻，使得其程度因子大于金属数百倍之多。

N型硅的电阻变化主要由其三个导带谷对的位移所造成不同迁移率的导带谷间的载子重新分布，进而使得电子在不同流动方向上的迁移率发生改变。

其次，则是由于来自与导带谷形状的改变相关的等效质量的变化。

在P型硅中，这种现象会更复杂一些，且会导致等效质量改变及电洞转换。

以上就是压阻压力传感器的相关知识，希望对大家有所帮助。